近日，廣東皓天檢測儀器有限公司自主研發的電磁振動實驗臺實現微振幅控制技術重大突破，其納米級位移控制精度，為芯片級元器件可靠性驗證提供關鍵測試支撐，破解了微電子領域精密振動測試難題。

此次突破使廣皓天電磁振動實驗臺的振幅控制精度躍升至新高度。該設備采用稀土永磁體構建均勻氣隙磁場，搭配精度達 0.1nm 的激光干涉位移傳感器，實時捕捉臺面振動軌跡。通過 FPGA 芯片驅動功率放大器進行微秒級電流修正，形成 “感知 - 計算 - 執行" 閉環系統，將正弦波失真度控制在 0.5% 以下，2000Hz 高頻振動時加速度波動穩定在 ±1% 內，遠超傳統設備性能。

行業應用已初見成效。該電磁振動實驗臺已投入廣皓天與哈工大共建的聯合實驗室，助力航天器熱防護材料、動力電池電極材料等領域的動態性能研究。目前，多家半導體企業采用該設備開展芯片可靠性測試，使虛焊、微裂紋等潛在缺陷檢出率提升 40% 以上。