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近日,國內某頭部半導體企業與廣東皓天檢測儀器有限公司達成戰略合作,正式引入廣皓天研發的高精度高頻電磁振動臺,用于半導體核心設備的可靠性測試環節。此次合作不僅該企業在振動測試領域的設備空白,更標志著國產高頻電磁振動臺在半導體核心測試場景的應用實現重大突破,為我國半導體產業鏈自主可控再添關鍵裝備支撐。
在半導體產業中,光刻機、刻蝕機等核心設備的精密部件對振動極為敏感,哪怕微米級的振動偏差,都可能導致芯片制造良率大幅下降。此前,該頭部半導體企業長期依賴進口振動測試設備,但進口設備存在適配性不足、維護成本高、響應周期長等問題,難以滿足企業對核心設備高頻振動測試的精細化需求。經過多輪技術驗證與對比測試,廣皓天高頻電磁振動臺憑借精度與穩定性,最終成為其合作。
此次引入的高精度高頻電磁振動臺,是廣皓天針對半導體行業需求定制的升級款產品,具備三大核心優勢:其一,頻率響應范圍拓展至 0.1Hz-8000Hz,在 3000Hz-6000Hz 高頻區間,正弦波失真度控制在 0.15% 以內,遠超行業平均水平,可精準模擬半導體設備運行時的高頻振動工況;其二,采用自研的 “納米級位移傳感系統",振動位移控制精度達 ±0.0005mm,能實時捕捉核心部件的微小振動變化,為設備性能優化提供精準數據支撐;其三,搭載 “多參數協同控制平臺",可同步整合振動、溫度、濕度等測試條件,復現半導體潔凈車間的復雜環境,實現一站式綜合測試,測試效率較傳統設備提升 60%。