每日設備停機后需執行基礎維護：首先清潔廣東快速溫變試驗箱的測試艙內壁，用無水乙醇擦拭艙體及樣品架，清除芯片測試殘留的焊劑粉塵，避免影響潔凈度與溫場均勻性；其次檢查矢量控溫系統的散熱濾網，用壓縮空氣吹掃積塵，防止因散熱不良導致溫變速率波動；最后通過設備智能終端核查多通道數據采集模塊的通訊狀態，確保與 MES 系統數據對接順暢。這些操作可預防 80% 以上的突發性小故障。

每 3 個月需進行深度維護與校準，這也是廣皓天五年技術保障協議的核心服務內容。技術人員會對廣東快速溫變試驗箱的溫度傳感器進行校準，采用標準黑體爐校驗 ±0.1℃的控溫精度，確保 - 40℃至 150℃全量程誤差不超標；同時更換潔凈系統的 HEPA 濾網，維持 Class 100 級艙內環境，適配 7nm 工藝芯片的測試要求；此外還會對制冷機組的制冷劑壓力進行檢測補充，保障 20℃/min 的溫變速率穩定輸出。

每年需開展一次全系統維護。重點拆解優化廣東快速溫變試驗箱的艙體密封結構，更換老化的硅膠密封條，防止冷熱交換時出現溫度泄漏；對矢量控溫算法的參數進行重新標定，結合全年運行數據優化程序響應速度；同時對壓縮機、循環風機等核心部件進行損耗檢測，通過振動監測預判潛在故障。據統計，規范執行年度維護可使設備使用壽命延長 30%。