每周巡檢（1 次 / 周）：重點(diǎn)檢查設(shè)備外觀、連接狀態(tài)與環(huán)境參數(shù)。包括：臺(tái)面清潔（清除測(cè)試殘留的粉塵、樣品碎屑，避免雜質(zhì)影響振動(dòng)精度）、電纜接頭緊固（尤其是動(dòng)圈供電電纜，防止高頻振動(dòng)導(dǎo)致接觸不良）、冷卻系統(tǒng)狀態(tài)（風(fēng)扇 / 水冷裝置是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)，濾網(wǎng)是否堵塞）。同時(shí)記錄設(shè)備運(yùn)行電流、溫度等基礎(chǔ)參數(shù)，若電流波動(dòng)超 ±5% 或臺(tái)面溫度超 40℃，需及時(shí)排查原因。

每月保養(yǎng)（1 次 / 月）：在周檢基礎(chǔ)上深化維護(hù)。包括：導(dǎo)向機(jī)構(gòu)潤(rùn)滑（對(duì)空氣軸承或直線軸承加注專(zhuān)用潤(rùn)滑脂，避免干摩擦影響高頻響應(yīng)）、振動(dòng)參數(shù)校準(zhǔn)（使用標(biāo)準(zhǔn)加速度計(jì)檢測(cè) 1000Hz、5000Hz 等關(guān)鍵頻率點(diǎn)的振幅誤差，若超 ±1% 需通過(guò)控制器修正）、軟件系統(tǒng)維護(hù)（更新控制軟件補(bǔ)丁，備份測(cè)試數(shù)據(jù)與參數(shù)配置）。某半導(dǎo)體廠運(yùn)維數(shù)據(jù)顯示，堅(jiān)持每月校準(zhǔn)可使高頻電磁振動(dòng)臺(tái)的測(cè)試數(shù)據(jù)重復(fù)性誤差降低 30%。

季度維護(hù)（1 次 / 3 個(gè)月）：針對(duì)高頻運(yùn)行易損耗部件。重點(diǎn)檢查動(dòng)圈狀態(tài)：拆除臺(tái)面后觀察線圈絕緣層是否破損（高頻電流易導(dǎo)致局部發(fā)熱，絕緣層老化會(huì)引發(fā)短路風(fēng)險(xiǎn)）、測(cè)量線圈直流電阻（與初始值偏差超 5% 需更換動(dòng)圈）；同時(shí)檢查位移傳感器 / 加速度傳感器的信號(hào)穩(wěn)定性，若信號(hào)噪聲超閾值，需重新校準(zhǔn)或更換傳感器。

半年維護(hù)（1 次 / 6 個(gè)月）：聚焦磁路與控制系統(tǒng)。包括：永磁體磁場(chǎng)強(qiáng)度檢測(cè)（使用高斯計(jì)測(cè)量氣隙磁感應(yīng)強(qiáng)度，若較初始值衰減超 10%，需補(bǔ)充充磁或更換永磁體，避免推力下降影響高頻輸出）、功率放大器維護(hù)（清理內(nèi)部灰塵，檢測(cè)輸出功率穩(wěn)定性，確保高頻段電流輸出無(wú)失真）。

年度大修（1 次 / 年）：全面拆解檢測(cè)與性能恢復(fù)。包括：動(dòng)圈組件整體更換（即使外觀無(wú)明顯損壞，高頻振動(dòng) 1 年累計(jì)運(yùn)行超 1000 小時(shí)后，線圈疲勞度會(huì)顯著上升，繼續(xù)使用易引發(fā)突發(fā)故障）、磁路氣隙清理（清除長(zhǎng)期運(yùn)行積累的金屬粉塵，避免磁場(chǎng)分布不均）、整機(jī)性能復(fù)測(cè)（按出廠標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)頻率響應(yīng)、推力、振幅穩(wěn)定性等全參數(shù)，確保設(shè)備恢復(fù)至狀態(tài)）。航空航天領(lǐng)域的高頻電磁振動(dòng)臺(tái)因使用強(qiáng)度高，部分企業(yè)將年度大修周期縮短至 8 個(gè)月。